微机电系统谐振器及其驱动和制备方法和频率滤波器

摘要

通过将输出相相差180度，可以将非平衡输入输出为平衡输出。微机电系统谐振器(MEMS谐振器(101))包括：用于输入信号的输入电极(111)；用于将非平衡输入输出为平衡输出信号的输出电极(第一输出电极(112)、第二输出电极(113))；经一空间(121)与所述输入电极(111)、第一输出电极(112)和第二输出电极(113)相对的振荡器(114)。第一输出电极(112)设置在与输入电极(111)的相相差180度的位置，而第二输出电极(113)设置在与输入电极(111)的相相同的位置。