公开/公告号CN1833165A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-09-13
原文格式PDF
申请/专利权人 亚系自动化系统有限公司;
申请/专利号CN200480022421.9
发明设计人 卡尔·尚茨;
申请日2004-07-07
分类号G01N21/956;G01R31/309;
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人李辉
地址 德国多恩施泰特
入库时间 2023-12-17 17:46:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-11-04
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-11-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-09-13
公开
公开
机译: 图案缺陷检查方法,用于检查图案缺陷的测试图案基材,图案缺陷检查装置,制造光掩模的方法以及用于显示装置的基材的制造方法
机译: 图案缺陷检查方法,用于检查图案缺陷的测试图案基材,图案缺陷检查装置,制造光掩模的方法以及用于显示装置的基材的制造方法
机译: 制作用于测试检查的测试图案