用于评估溅射靶/背衬板组件的结合界面的热成像测试方法和装置

摘要

公开一种用于热成像评估溅射靶组件的结合完整性的方法和装置。该方法包括对组件的一个表面施加加热或冷却介质或能量，并且使用成像装置获得在组件的相反表面上的相应温度变化的图形记录。还公开一种数学分析记录每一帧中的像素数据的方法，以生成表示组件的结合完整性的积分的归一化温度图。