制造细微结构的方法,细微结构,显示单元,制造记录装置的方法以及记录装置

摘要

一种制造细微结构体的方法，该方法能够精确控制形成有由碳等制成的管状结构的位置。圆柱状凸起部分(11)形成在衬底(10)上。随后，诸如铁(Fe)的催化物质(20)被粘附在衬底(10)上。之后，对衬底(10)进行热处理以使催化物质(20)熔化并粘结在凸起部分(11)的侧面(11A)上。这使得由催化物质(20)制成的环形催化剂图案形成在凸起部分(11)的侧面(11A)上。随后，利用催化剂图案使中空圆柱管状结构(30)生长。管状结构(30)从凸起部分(11)的侧面(11A)升起并生长成具有头部(30A)敞开的碳(纳米)管。形成精确对应凸起部分(11)位置的管状结构(30)。