磁性記錄裝置的製造方法

摘要

[[abstract]]一種磁性記錄裝置的製造方法,是先依序在基材上形成底層與磁性記錄層,再以氦離子佈植於磁性記錄層之一第一區域區域,使第一區域中的多數原子規則排列而成為一序化區域,並同時可以非磁性元素離子佈植於磁性記錄層之一第二區域,使第二區域中成為一非磁區域。本發明以離子佈植之直接能量轉換方式而無須後退火製程,即可使磁性記錄層形成多數間隔排列之非磁區域區與獨立的序化區域,且有效地降低鐵鉑合金之序化溫度,進而增加記錄儲存密度。此外,由於離子束具有可聚焦特性或是結合光罩的方式,可進行記錄媒體規則圖案之直接繪製。