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由钛和钛氧化物和低氧化物物理气相沉积的能量转换和储存膜和器件

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摘要

通过脉冲DC偏压反应溅射法从含钛靶沉积高密度氧化膜，以形成高质量含钛氧化膜。根据本发明形成钛基层或膜的方法包括通过脉冲DC偏压反应溅射法在衬底沉积含钛氧化物层。在一些实施方案中，所述层是TiO

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-06-12

专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C14/14 变更前: 变更后: 登记生效日:20130515 申请日:20040521

专利申请权、专利权的转移
2013-06-12

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/14 申请公布日:20060830 申请日:20040521

发明专利申请公布后的驳回
2006-10-25

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-08-30

公开

公开

1. 由钛和钛氧化物和低氧化物物理气相沉积的能量转换和储存膜和器件 [P] . 中国专利： CN1826424A . 2006-08-30
2. 除去钛系膜和钛氧化物的方法 [P] . 中国专利： CN1507504A . 2004-06-23
3. Energy conversion and storage films and devices by physical vapor deposition of titanium and titanium oxides and sub-oxides [P] . 美国专利： US7238628B2 . 2007-07-03

机译：通过物理气相沉积钛以及钛氧化物和亚氧化物的能量转换和存储膜及装置
4. Energy conversion and storage films and devices by physical vapor deposition of titanium and titanium oxides and sub-oxides [P] . 美国专利： US2007172681A1 . 2007-07-26

机译：通过物理气相沉积钛以及钛氧化物和亚氧化物的能量转换和存储膜及装置
5. Energy conversion and storage films and devices by physical vapor deposition of titanium and titanium oxides and sub-oxides [P] . 美国专利： US2004259305A1 . 2004-12-23

机译：通过物理气相沉积钛以及钛氧化物和亚氧化物的能量转换和存储膜及装置