沉积室中用于捕集粒子的阱

摘要

本发明包括具有反应室和沿室内一个或多个表面形成的粒子捕集特征的沉积设备。特别之处在于，粒子捕集特征可包括形成贮器的弯曲凸起型式，并可在弯曲凸起上包括微结构。本发明还包括形成离子捕集特征的方法，即通过首先形成凸起型式，弯曲凸起，然后将凸起暴露于粒子中，以在弯曲凸起上形成微结构。