改善元件效能的几何最佳化间隙壁

摘要

本发明是有关于一种改善元件效能的几何最佳化间隙壁，一种具有梯形间隙壁的互补金属氧化物半导体元件及其制造方法，制造方法具有改良的关键尺寸控制方法与改良的自动对准硅化金属制程，此互补金属氧化物半导体元件包括一半导体基板；一闸极结构至少包括位于半导体基板上的一闸介电层及位于此闸介电层上的一闸极；一梯形间隙壁邻接于闸极结构的两侧，此梯形间隙壁邻接此闸极的一内缘处具有一最大高度，最大高度低于闸极的上方部分以暴露出闸极侧壁部分。本发明的制造方法具有改良的关键尺寸控制及改良的自动对准硅化金属。