基于电荷控制的压电陶瓷驱动电源

摘要

本发明提供的是一种基于电荷控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷和连接与压电陶瓷两端的高压运算放大器，在压电陶瓷上串接有反馈电容。对电荷反馈压电陶瓷电源进行了性能测试，当加在压电陶瓷上电压70V左右，定位6秒位移变化情况，在该电源的驱动下，0－7.4um位移变化量，压电陶瓷50ms达到稳定；压电陶瓷输出位移纹波在－0.05－+0.05um波动，几乎没有蠕变现象。