公开/公告号CN1761392A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 精工爱普生株式会社;
申请/专利号CN200480006970.7
申请日2004-02-19
分类号A01M1/02(20060101);A01M1/20(20060101);A01M7/00(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王玮
地址 日本东京
入库时间 2023-12-17 17:08:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-12-24
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-06-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-04-19
公开
公开
机译: 扩散化学品的设备和方法
机译: 化学品扩散通风型设备
机译: 用于混合蚀刻介质的设备包括混合容器,用于引入化学品的进料管,中央结合管和连接到结合管的嘴端的扩散器。