紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法

摘要

一种紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备，其步骤包括：用99.99％或纯度更高的金属锌掺入光谱纯的金属镉作为阴极的溅射锌靶，阳极和真空室相连，将溅射锌靶焊接到紫铜底板上；将清洗后的基底装在基底夹具上，活动挡板置于所述的基底夹具与所述的溅射锌靶之间；关好各气阀后抽真空，直至真空度达3×10－3Pa以上；通入氩气和氧气后，真空度范围为0.1Pa～0.5Pa；溅射电源功率选择范围为100W～500W，开直流电源起辉预溅射5～10分钟；旋转所述的基底夹具，移开活动挡板，开始沉积薄膜，直至达到所需的薄膜厚度。实验证明用本发明方法所镀制的氧化锌薄膜的紫光发射增强，其他可见区的发光受到抑制。