氧化锌薄膜制备方法及其性能分析

摘要

氧化锌的诸多特性,使得氧化锌的研究不断的深化,并且逐渐应用于半导体领域的薄膜晶体管、液晶显示器、发光二极管等。文章研究氧化锌材料的化学制备方法及在氧化锌中参杂不同氧化物对其电阻特性的影响。