一种三层膜系结构的系列阳光控制膜玻璃

摘要

本发明提供一种三层膜系的系列阳光控制膜玻璃，自玻璃基板向外依次为：玻璃/SnOx/SSTNx/SnOx，其中第一层氧化锡层SnOx通过平面直流阴极和/或旋转直流阴极的金属锡靶在氩氮混合气氛围中溅射；第二层氮化不锈钢层SSTNx通过平面直流阴极或平面直流阴极的不锈钢合金靶(316L)在纯氮气氛围中溅射；第三层氧化锡层SnOx通过旋转直流阴极的锡靶在纯氧混合气氛围中溅射。此系列产品反射色呈现出现代感的银灰色，透过率适中，透过颜色柔和，耐酸、碱，耐磨性等各项性能优良。

说明书

技术领域

本发明是一种镀有三层不同薄膜材料的系列阳光控制膜玻璃。

背景技术

传统的阳光控制膜玻璃以低的透过率，高的反射率为主，进入21世纪后，市场对阳光控制膜的应用有了新的要求：1)传统的低透光、深色、高反光的镜面式玻璃逐渐被高通透光、色调柔和的玻璃所取代，2)人们更加重视避免过强反射光刺激、室内充分自然照明、保温、节能。市场常见的阳光控制膜玻璃要么颜色偏蓝，要么虽然颜色呈银灰色可透光率太低，居住者在屋内感到压抑，视线受到干扰，没有一个较合适的既外观看来呈现出现代感的银灰色又使室内居住者感到通透舒适的阳光控制膜玻璃。我们认为开发一个可见光透过率适中，反射颜色适中的具有现代感银灰色的系列阳光控制膜玻璃，可以满足市场的这种需求。

发明内容

本发明提供一种三层膜系的系列阳光控制膜玻璃，自玻璃基板向外依次为：在玻璃基板上镀制三层不同材料的薄膜，各层结构如下：

玻璃/SnOx/SSTNx/SnOx，即在玻璃基板上依次镀上氧化锡，氮化不锈钢合金(316L)，氧化锡。

各膜层的镀制工艺是：

(1)第一层SnOx：通过直流阴极的金属锡靶在氩氧混合气中溅射，氩、氧气比便为0-30％Ar，100-70％O₂，膜层厚度为8-35mm，在一定厚度范围内可以增加透过率，降低反射率，使反射颜色呈中性灰色，与玻璃附着力强。

(2)第二层氮化不锈钢层SSTNx：通过直流阴极的不锈钢合金靶(316L)在纯氮气中溅射，膜层厚度为8-30mm，利用其光谱吸收特性降低透过率，使膜层透射呈现中性偏蓝灰色，给人一种柔和、清凉舒适的视觉感受，具有遮阳节能效果。

(3)第三层氧化锡层SnOx：通过直流阴极的金属锡靶在纯氧气中溅射(100％O₂)，膜层厚度为15-30mm，保护层，提高膜层的耐磨性能和耐酸碱性能，同时调节其厚度可以调整膜层反射色。本层采用纯氧溅射工艺，可以保证SnOx膜层的几乎以100％SnO2的形式沉积。较之普遍采用的氩氧混合气溅射工艺(含有SnO)，膜层的SnO2纯度更高，具有更好的耐酸碱和耐研磨性能，耐候性也更好。

具体实施方式

本发明的实施例是：采用水平式双端连续式镀膜机，包括6个旋转直流阴极，9个平面直流阴极。在生产时使用两个平面直流阴极，四个旋转直流阴极。下表列出了制出本发明三层膜系的系列阳光控制膜玻璃的工艺参数。

镀制SnOx/SSTNx/SnOx三层膜系系列阳光控制膜玻璃

                                 靶位分布及工艺参数

  靶位  序号  阴极  类型  靶材料  溅射工艺  气压  (h Pa) 工艺气体 成分  膜层  厚度  (nm)  1#  平面直流阴极  锡  3.3×10^-3 氮∶氩＝(100- 70)∶(0-30)  8-35  2#  旋转直流阴极  锡  4.1×10^-3 氧∶氩＝(100- 70)∶(0-30)  3#  旋转直流阴极  锡  4.1×10^-3 氧∶氩＝(100- 70)∶(0-30)  4#  平面直流阴极  不锈钢  (316L)  2.9×10^-3 纯氮  8-30  5#  旋转直流阴极  锡  4.1×10^-3 纯氧  15-50  6#  旋转直流阴极  锡  4.1×10^-3 纯氧

用上述工艺参数制出的阳光控制膜玻璃的光学性能如下：

镀膜玻璃的可见光透过率T＝25-50％，

可见光玻璃面反射率Rg＝20-32％

可见光玻璃面色坐标a^*值＝-2--3

色坐标b^*值＝-3.0--7。