使用瞬态热响应确定构图薄膜金属结构特性的方法

摘要

本发明测量包括多个窄金属区域的一种结构，每个区域设置在包括第二非金属材料的相邻区域之间。该方法的一个步骤是通过利用由激励条形成的空间周期性激励场照射来激励该结构，以生成热光栅。其它步骤是从热光栅衍射出探测激光束，以形成信号束；作为时间的函数，检测信号束，以产生信号波形；并且根据信号波形的热分量，确定该结构的至少一个特性。