用于电测量缝合掩膜的单向未对准的电阻结构

摘要

一种匹配可变电阻结构、用于电测量缝合掩膜的单向未对准的设备和方法，该掩膜用于蚀刻包括用作测量其间电阻的第一测试垫(101)和第二测试垫(102)的互连层；第一电阻元件(105)在第一端电连接到第一测试垫(101)；第二电阻元件(110)在第一端电连接到第二测试垫(102)。第一电阻元件和第二电阻元件由垂直偏移(112)电连接。测得的第一测试垫和第二测试垫之间的电阻根据第一电阻元件和第二电阻元件相对于垂直偏移的对准而变化，见图1C－E。指示器可以任意提供电阻元件处于对准的指示。