电光波导光学相位调制器列阵及其制备方法

摘要

一种波导型电光材料相位调制器列阵及其制备方法，该电光波导光学相位调制器列阵的构成自下而上依次是：衬底、下电极、电光薄膜波导和上电极，所述的电光薄膜波导包括下包层、电光波导层和上包层，所述的上包层和电光波导层被多条直线形隔离沟隔成多条条形列阵结构，所述的上电极呈多条条形电极结构，所述的下电极为接地电极；所述的上电极的条形电极通过电极引线分别与驱动电压源相连，该驱动电压源再与计算机相连。其制备方法包括上述各层材料的生长、光刻制备隔离沟、切割、端面研磨抛光、镀增透膜、点焊电极引线等步骤。