公开/公告号CN1724968A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 安捷伦科技有限公司;
申请/专利号CN200510079850.6
发明设计人 W·克莱·施卢赫特尔;L·哈克查·李;
申请日2005-06-29
分类号G01B9/02;
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人柳春雷
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 16:50:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-04-22
专利权的视为放弃
专利权的视为放弃
2006-03-22
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-01-25
公开
公开
机译: 带有多孔棱镜的外差式激光干涉仪,用于测量平台位移。
机译: 带有多孔棱镜的外差式激光干涉仪,用于测量平台位移
机译: 两种模式,具有超外差相位测量功能的氦氖激光外差激光干涉仪