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机译:带有多孔棱镜的外差式激光干涉仪,用于测量平台位移。
公开/公告号NL1029522C2
专利类型
公开/公告日2007-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 AGILENT TECHNOLOGIES INC. A DELAWARE CORPORATION;
申请/专利号NL20051029522
发明设计人 L. HAKCHU LEE;W. CLAY SCHLUCHTER;
申请日2005-07-14
分类号G01B9/02;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 20:57:06
机译: 带有多孔棱镜的外差式激光干涉仪,用于测量平台位移
机译: 装有棱镜的异质激光干涉仪,用于测量位移
机译: 两种模式,具有超外差相位测量功能的氦氖激光外差激光干涉仪