灯保护罩，含灯和保护罩的装置，光刻器械中安装光源的方法

摘要

用于灯的保护罩，所述保护罩是柔性的并且由具有抗拉强度的材料制成，从而在放电灯被所述保护罩覆盖的时候，对于当所述放电灯破裂的时候产生的碎片，所述保护罩是不可穿透的。所述保护罩用来将所述放电灯安装到光源上，并在安装后将所述保护罩从所述灯移除。