圆盘状物品的基准位置自动示教方法、自动定位方法与自动运送方法 ,以及使用这些方法的圆盘状物品的基准位置自动示教装置、自动定位装置与自动运送装置

摘要

为实现具有定位装置与运送机器人的半导体制造装置设备组装时各部分的基准位置示教与正常生产过程中的定位自动化，提高生产率，本发明对晶圆等圆盘状物品47的圆周与检测装置的轨迹43的相交的两点W1、W2进行检测，用该两，连结这两点的线段的垂直平分线42上的特定点0以及圆盘状物品的半径r算出圆盘状物品的中心位置。这样，便可让运送机器人进行定位作业，用该结果，不仅可以修正运送路径，而且可以实现设备组装时的基准位置示教自动化。在有缺口部的情况下，用检测装置的两条轨迹检测圆盘状物品的圆周，找到正确的中心位置。另外，通过用检测装置的3条轨迹检测半径未知的圆盘状物品的圆周，求出半径，可使用直径不同的晶圆进行混合生产成为可能。