面积率/占有率验证方法及图案生成方法

摘要

本发明公开了一种面积率/占有率验证方法及图案生成方法。其目的在于：提供一种高速且高可靠性的面积率/占有率验证方法。假定在芯片的空区域或者实体内的空区域布置由工艺条件决定的虚图案，进行芯片的图案面积率或者检查窗内的图案占有率的验证。