适合于工具对工具匹配的计量衍射信号

摘要

在一种实施方式中，确定次级计量工具相对于初级计量工具的信号调节矢量(步骤560)。在(步骤500)，用初级计量工具测量晶片上预定数目的位置外的衍射信号。计量工具可以是偏振光椭圆计、反射计。初级计量工具是一种具有硬件规格说明的计量工具，该硬件规格说明被用来生成衍射信号及其相关简表的数据库的计量数据。在(步骤520)，用一个或多个次级计量工具测量该相同预定数目的位置，次级计量工具具有与初级计量工具相同的类型或相同的种类。在(步骤540)，对于相应的位置，计算用初级计量工具和用次级计量工具测量到的衍射信号的差。