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一种掺铒/铒、镱共掺氧化铝光波导放大器的制备方法

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本发明属于光通信技术中有源光放大器件领域，具体涉及到一种掺铒/铒、镱共掺氧化铝光波导放大器的制备方法。其特征是利用中频等离子体磁控溅射方法制备掺铒/铒、镱共掺氧化铝薄膜，对制备的薄膜进行退火处理、并利用掩膜刻蚀经过，1)在薄膜上沉积SiO

著录项

公开/公告号CN1621929A

专利类型发明专利
公开/公告日2005-06-01

原文格式PDF
申请/专利权人大连理工大学;
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申请/专利号CN200410082998.0
发明设计人李成仁;宋琦;宋昌烈;李建勇;李淑凤;
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申请日2004-12-14
分类号G02F1/39;H01S3/00;
代理机构大连理工大学专利中心;
代理人侯明远
地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
入库时间 2023-12-17 16:12:33

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2007-08-22

发明专利申请公布后的视为撤回

发明专利申请公布后的视为撤回
2005-08-03

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-06-01

公开

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