公开/公告号CN1621827A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海电气自动化设计研究所;
申请/专利号CN200310108899.0
申请日2003-11-27
分类号G01N29/04;
代理机构31001 上海申汇专利代理有限公司;
代理人吴宝根
地址 200023 上海市蒙自路360号
入库时间 2023-12-17 16:08:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-07-09
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-12-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-06-01
公开
公开
机译: 环路仿真和测试系统中的硬件,包括相控阵天线仿真系统,可为输入被测设备(DUT)的输入提供动态范围和到达信号的仿真,包括相控阵信号处理系统以及相关方法
机译: 用于校正聚焦误差和临界尺寸的光刻工具的仿真器,用于校正聚焦误差和临界尺寸的仿真的方法以及用于存储用于仿真器的计算机程序的计算机介质
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