一种具有高磁电阻效应的双磁性隧道结及其制备方法

摘要

本发明提供了一种具有高磁电阻效应的双磁性隧道结及其制备方法。双磁性隧道结由底电极层、反铁磁层、钴铁合金、绝缘层、金属钌层、顶电极层组成。本发明采用二氧化硅基片，通过等离子体溅射或磁控溅射、分子束外延生长手段制备成双磁性隧道结。本发明的优点在于：巧妙的利用双隧道结、金属钌层和两层绝缘层的组合，大幅度地提高双磁性隧道结在室温下的磁电阻效应。