具有嵌入式环形振荡器的散射测量法结构及使用该结构的方法

摘要

本发明大致关于具有嵌入式环形振荡器(20)的散射测量法结构及使用该结构德各种方法。在所列举的一个实施例中，该方法包含有形成由具有用于复数个N沟道晶体管的复数个栅极结构(26)的第一格栅结构(22)和具有用于复数个P沟道晶体管的复数个栅极结构(28)的第二格栅结构(24)构成的环形振荡器(20)、利用散射测量法工具(44)测量在第一格栅结构(22)和/或第二格栅结构(24)中至少其中一个栅极结构的临界尺寸和/或轮廓。在另一个实施例中，该方法更包含有将测量得到的栅极结构的临界尺寸和/或轮廓与模型相比较，以便预测环形振荡器(20)的至少一个的电气性能特性。在又一个实施例中，该方法还包含有形成至少一个可作为环形振荡器(20)一部分的包含有复数个特性(32)的电容性负载结构(30)，和利用散射测量法工具(44)测量包含电容性负载结构(30)的特性(32)的至少一个临界尺寸和/或轮廓。该方法还包含有将测量得到的特性(32)的临界尺寸和/或轮廓与模型相比较以便预测环形振荡器(20)的至少一个的电气性能特性。