公开/公告号CN1595227A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN200410025625.X
申请日2004-06-30
分类号G02B27/28;G02F1/01;
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2023-12-17 16:00:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-11-15
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-05-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-03-16
公开
公开
机译: 用于投影曝光系统的照明光学单元,具有光瞳刻面镜,该光瞳刻面镜被设置为使得内部组中的光瞳刻面的数量被设置为与外部组中的光瞳刻面的数量不同。
机译: 望远镜型高速立体显微镜具有望远镜系统,其入射光瞳大于另一望远镜系统的入射光瞳
机译: 衍射光瞳填充物改进型照明器,用于环形光瞳填充物