利用扩展局部振荡器信号的并行干涉测量

摘要

本发明公开了一种用于表征被测试器件(DUT)(116；216；516)的光学性质的系统，该系统利用扩展局部振荡器信号来进行多个并行干涉测量。在一个系统中，扩展局部振荡器信号被光学连接到透镜阵列(106)。该透镜阵列将扩展扫频局部振荡器信号聚焦成多条光束。然后这多条光束用在多个并行干涉测量中。根据应用，这多条光束可用作参考光束，或应用到DUT并用作测试光束。测试光束和参考光束被组合来进行干涉测量。在另一个系统中，扩展局部振荡器信号的一部分(209；509)可作为测试光束直接应用到DUT，而扩展局部振荡器信号的另一部分(207；507)用作参考光束。