校准部件摆放机器的方法,适于实施该方法的装置以及适于该方法或装置中使用的校准部件

摘要

一种用于校准一个部件摆放机器(1)的方法和装置，该机器(1)包括具有至少一个基准元件(4)的基板保持装置(2)和具有夹持装置(5)的自动机(3)，一校准部件(7)通过夹持装置(5)移动到基准元件(4)的一个相对于自动机(3)的预期的位置，该校准部件(7)包括一个能以一种可移去的方式连接到夹持装置(5)的第一部分(8)，和一个可相对于第一部分(8)移动的第二部分(9)。校准部件(7)通过第二部分(9)相对于基准元件(4)对准，在该对准期间第二部分(9)相对于第一部分(8)移动，然后基于该移动，基准元件(4)相对于自动机(3)的实际相对位置被确定。