极紫外光20nm～40nm光谱发生器

摘要

本发明提供一种极紫外光20nm～40nm光谱发生器。本发明紫外光20nm～40nm光谱发生器包括产生摄氏温度1.4万度至2.4万度高温的等离子体喷嘴2，等离子体导电极导气孔3，高纯石英玻璃壳12，聚光反射腔9等共25种零件构成(参见说明书摘要附图1)。本发明光谱发生器在工作时等离子体的温度在1.4万℃～2.4万℃之间，释放出较多能量的极紫外光20nm～40nm的光谱，可用于超大规模集成电路用于线宽≤20nm的光刻工艺，并能用于纳米级显微镜的光源。