去除涂覆至基板层边缘且涂布基板的方法与装置及一基板

摘要

本发明涉及用来去除涂覆至一基板的层的边缘区域且用来(尤其以光阻层)涂布一基板的一种方法及装置。此外，本发明涉及一种基板，在该基板上涂覆一层面，该层面特别用于显微光刻(microlithographic)处理，根据本发明将该层的边缘区域去除。在该方法中，激光束成像于边缘区域里，且通过激光束将边缘区域去除。以该方式，能可靠地且精确地将边缘区域去除，而不会损坏或污染该层的未去除区域。