法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-02-08
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-01-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-11-10
公开
公开
机译: 用于真空电弧放电等离子体管道的装置,用于产生等离子体束的真空电弧放电装置和用于控制电弧放电的方法
机译: 等离子处理系统及真空镀膜和表面处理,包括等离子机理,磁控管品尝,远程阳极,电弧放电,阴极盖,阳极,磁系统,电源阴极和电弧放电电源;一种涂覆基材的方法。
机译: 连续熔化和蒸发固体材料的系统和方法,气相沉积涂层系统,连续送入电极,电弧放电设备。通过气相沉积涂层产生电弧放电以电离气相涂层的方法。通过汽相沉积测量涂层系统中蒸发器的电离度和蒸发速率,并去除附着在真空镀膜上的真空室中沉积的材料。