采用用于激励的聚焦光学器件和用于收集的聚焦单色器的波长色散X射线荧光分析(XRF)系统

摘要

本发明提供X射线荧光(XRF)光谱测定系统和方法。XRF系统(100)包括X射线辐射源(110)、和布置在X射线辐射源(110)和试样(130)之间的激励光学器件(120)、以便收集来自所述辐射源的X射线辐射，并将X射线辐射聚焦到试样上的一个焦点，以引起试样中至少一种被分析物发出荧光。该系统(100)还包括X射线探测仪(150)，和收集光学器件(140)。收集光学器件包括至少一个双曲衍射光学器件，该双曲衍射光学器件布置在试样和X射线探测仪之间，以便收集来自试样上的焦点处的X射线荧光，并将荧光X射线导向至少一个X射线探测仪。