具有特殊调谐射频电磁场发生器的等离子体切割物质的装置

摘要

一种利用协调等离子体云对物质进行切割的方法。射频发生器系统(10)生成脉冲或者连续的电磁波形，该电磁波由一有源发射器切割电极端头(26)发射。利用该电磁波通过例如热离子化以及光电效应等过程，激发一等离子体云(32)。将此电磁波调节为与该等离子体云阻抗匹配、频率匹配、功率匹配且与后者相调谐，从而维持并控制一个具有降低的原子粒子湍流及扰动的协调等离子体云。此协调等离子体云形成覆盖有源发生器电极端头表面的覆盖层，并且起到降低对本发明的等离子体切割装置的功率放大器(22)的输出能量的要求的作用。本发明是一种有效的、整齐的以及廉价的可用于切割物质的装置。