射束调节样品、射束调节方法及射束调节装置

摘要

本发明公开了射束调节样品、射束调节方法及射束调节装置。采用的射束调节样品具有板状平坦表面并具有彼此正交的两个边缘。射束施加到射束调节样品上，以检测通过射束调节样品的射束量。射束垂直地扫描两个边缘。