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公开/公告号CN1491377A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-04-21
原文格式PDF
申请/专利权人 霍尼韦尔国际公司;
申请/专利号CN01822747.3
发明设计人 D·J·沙;
申请日2001-12-18
分类号G05D23/00;F25B49/00;B01F3/02;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人杨凯
地址 美国新泽西州
入库时间 2023-12-17 15:13:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-09-07
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-06-30
实质审查的生效
2004-04-21
公开
机译: 用于半导体设备的温度湿度控制器和温度湿度控制方法
机译: - 温度控制器使用热舒适区的温度湿度图
机译: 集成温度和湿度控制器,优先进行湿度温度控制。
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