光波导和序列波导光栅中的双折射控制

摘要

一种控制制作在硅(1)中的肋状波导结构中的双折射的方法，该肋状波导结构包括一个有一个上表面和两个侧面的延长的肋状元件(4)，该方法包括在所述肋状波导结构的至少一个部分的所述上表面和侧面上形成一个有预先确定厚度的热氧化层(7)。