流动式气体激光器的气体压强和流量控制系统

摘要

本发明公开了一种流动式气体激光器的气体压强和流量控制系统。包括充有氮气或氖气的高压钢瓶，经减压阀、第一高真空针形阀分成两路，一路经机械式真空表、另一路经第二高真空针形阀接标有毫米刻度、装有真空硅油的玻璃U形管的一端，U形管的另一端和机械式真空表接激光放电管的一端；机械真空泵经第三高真空针形阀、过滤器接激光放电管的另一端。调节针形阀，改变激光放电管内的缓冲气体压强，并由U形管两边的油面高度之差精确测得压强大小，测量精度达0.01kPa，它比一般机械真空表的精度提高约25倍；利用U形管油面高度之差来显示气体压强，可避免因气体放电产生的电磁干扰，保证测量精度。满足流动式低压放电气体激光器中精确测量气压和进行少量掺杂气体实验的要求。