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正型感光性涂料组合物、正型感光性树脂的制造方法及图形的形成方法

摘要

本发明涉及正型感光性涂料组合物、正型感光性树脂的制造方法及图形的形成方法。所述的正型感光性涂料组合物是,在一分子中以特定的改性醌二迭氮磺胺作为结构单元,在1kg树脂中含有这种结构单元为0.1~0.9摩尔,并且以特定的羧酸酰胺衍生物作为结构单元,在1kg树脂中含有这种结构单元0.2~4.0摩尔的正型感光性树脂100重量份中,混合选自酚醛树脂、酚衍生物和邻苯二酚衍生物中至少一种成分1~50重量份。

著录项

  • 公开/公告号CN1469198A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2004-01-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 关西涂料株式会社;

    申请/专利号CN03142795.2

  • 申请日2003-04-03

  • 分类号G03F7/039;G03F7/16;G03F7/32;H01L21/027;

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人王健

  • 地址 日本兵库县

  • 入库时间 2023-12-17 15:05:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2006-03-08

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2004-03-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-01-21

    公开

    公开

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