法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-03-08
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-03-31
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-01-21
公开
公开
机译: 正型感光性组合物,用于正型感光性组合物中的化合物,使用用于该感光性组合物中的正型树脂的图案形成方法以及正型感光性组合物
机译: 高分子化合物使用正型感光性组合物,在该正型感光性组合物中,该高分子化合物的制造方法,该正型感光性化合物以及用于制造该高分子化合物的图案形成方法的组合物
机译: 正型感光性组合物,用于该正型感光性组合物的高分子化合物,该高分子化合物的制造方法,用于该高分子化合物的制造中的化合物以及使用该正型感光性组合物的图案形成方法