半导体制造中的维护方法及系统

摘要

在自动工艺控制的设定中，各种工艺控制方法的维护方法是共用的。用数据检索部7检索登记在半导体生产控制系统2上的工序流程名或者产品名，将该工序的流程名的工序名作成关键词，从输入输出装置6设定控制原工序、控制原工序测定项目名和控制目标工序、控制目标计算式、控制目标条件信息，将数据暂时存储到数据存储部8后，从设定指示部8向半导体生产控制控制系统2和自动工艺控制系统3进行自动工艺控制信息的更新的系统。