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具有降低的象素间的寄生热耦合的热释传感器

摘要

热释传感器包括多个象素(12A),每个象素由薄的热电物质层(20A)和设置在所述的层两个侧面上的第一和第二电极(14,28)构成。下电极(28)被结构化,即它们被微加工成形成属于象素的电极以便降低在象素间寄生的热耦合。该热电物质层是多孔的。根据本发明的优选实施例,该多孔的热电物质层是连续的并且均匀地沉积在传感器的基体上。该多孔层具有降低的热传导性,因此可以不用微加工在电极间的热电物质层就可以获得具有高分辨率的传感器。

著录项

  • 公开/公告号CN1446313A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2003-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 洛桑生态综合技术联合公司;

    申请/专利号CN01813782.2

  • 发明设计人 A·赛菲尔特;P·穆拉尔特;

    申请日2001-07-06

  • 分类号G01J5/34;H01L37/02;

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人苏娟

  • 地址 瑞士洛桑

  • 入库时间 2023-12-17 14:57:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-04-18

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2003-12-17

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-10-01

    公开

    公开

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