计测方法以及计测装置、曝光方法以及曝光装置

摘要

目的在于提供能高精度迅速地计测给定气体中包含的任意物质、并且作业效率良好的计测方法以及计测装置、曝光方法以及曝光装置。曝光装置S具有：能计测吸光物质的计测部M；能向计测部M供给光路空间LS内气体GS的气体供给装置N；能向计测部M供给减少了吸光物质的清净气体GT2的清净气体供给装置H；能交替切换对计测部M的气体GS以及清净气体GT2的供给的切换装置B。在减少了计测部M中的残留吸光物质的状态下，以高精度进行气体GS中包含的吸光物质浓度的计测。