法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-08-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/027 授权公告日:20050316 申请日:20020604
专利权的终止
2005-03-16
授权
授权
2003-06-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-04-02
公开
公开
机译: 利用选择性生长碳纳米管的电子发射源制造电子发射光刻设备的方法及其用于光刻的电子发射发射器
机译: 使用选择性生长的碳纳米管的电子发射光刻设备及其光刻方法
机译: 使用选择性生长的碳纳米管的电子发射光刻设备及其光刻方法