法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-12-31
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-02-02
授权
授权
2003-06-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-05-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-03-26
公开
公开
机译: 光学薄膜厚度的测量方法,光学薄膜厚度的测量系统以及光学薄膜厚度的测量程序
机译: 光学薄膜,以及其制备方法和设备,以及厚度和折射率的测量。
机译: 用于测量光学薄膜的光学厚度和折射率的设备和方法