测量光学薄膜等效折射率及物理厚度的设备和方法

摘要

本发明书提供了一种通过测量多个角度反射谱来同时获得薄膜等效折射率和厚度的设备和方法。该设备简单，测量方便。该方法是根据入射光在空气-薄膜-衬底的界面处两次反射会发生干涉，其干涉现象会从反射谱上表现出来。因此只要测得两个不同入射角θ₁和θ₂含有干涉信息的反射谱R(θ₁，ω)和R(θ₂，ω)，采用薄膜反射率公式同时拟合这两个反射谱，得到相应的光程差Δ₁和Δ₂，根据折射定律，联立两个方程就可以得出薄膜的等效折射率n及物理厚度d。与传统方法不同的是该方法可以同时、方便、无损地测出薄膜的等效折射率和厚度，甚至可以用于镀膜过程的实时监控与在线检测。