金属膜的生产方法,具有这种金属膜的薄膜器件,以及具有这种薄膜器件的液晶显示器

摘要

本发明提供了一种用来制作薄膜器件的金属膜的方法，使之具有一定的锥角。此方法是一种改进了的精细加工方法，通过湿法腐蚀步骤和干法腐蚀步骤的组合生产方法来生产诸如薄膜器件的光闸膜之类的金属膜。预先形成抗蚀剂膜的剖面形状，使之在二端部处具有一定的锥角。因此，在干法腐蚀步骤中，腐蚀剂气体能够沿抗蚀剂的侧壁平滑地流过，因而能够形成金属膜，使之具有沿腐蚀剂气体流线的平缓锥角。于是，根据本发明，有可能明显地改善诸如待要用于LCD的TFT之类的薄膜器件的生产效率和质量。