基底、载物台装置、载物台驱动方法和曝光装置及曝光方法

摘要

载物台装置(4)包括:支撑部(8),相对于固定盘(3)可振动地独立配置;以及反作用力载物台(17),通过随着载物台本体(2)的驱动产生的反作用力沿所述一个方向在支撑部(8)上自由移动。由此,由于可以避免反作用力造成的摇晃等问题,所以可以实现调整时间短、生产率提高,同时可以抑制将支撑部的残留振动传送到固定盘。