预清室的微粒污染防止方法

摘要

一种预清室的微粒污染防止方法,包括一提供氧气至预清室中的氧气提供步骤;及一利用无线电波频率将该预清室中的氧气解离成等离子,并使其与该富含硅氧化物反应,据以于该预清室内形成一二氧化硅层的等离子产生步骤。藉由本发明的预清室的微粒污染防止方法则可避免因附着于一预清室中的富含硅氧化物快速剥离所造成的污染,进而达到延长预清室的钟型缸使用时间的目的。