密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备

摘要

本发明属于半导体光电子技术中对密封装多片式微通道热沉冷却激光二极管阵列制备方法的改进。微通道制备在扣焊二极管激光器阵列条的同一片热导体上,由于微通道离二极管激光器阵列条所扣焊位置的距离很近,二极管激光器阵列条产生的热量很快进入微通道里,冷却液进入微通道后与微通道充分接触,热量通过受迫热传导被流经微通道的冷却液带走,从而使微通道热沉工作在亚热容量饱和状态。本发明制备工艺简单实用,制作成本低,导热效果好,光输出功率密度大,可实现二极管激光器阵列的高密度封装,提高其性能价格比。为高功率半导体激光器阵列提供性能稳定可靠、易于散热、低热阻的密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备。