薄层材料间的对准方法,对准方法,衬底装配方法和对准装置

摘要

本发明提供一种薄层材料间对准的方法,对准方法,衬底安装方法,和对准装置,其能够容易和可靠地高精度对准和抑制材料成品率下降。在作为参照的带状光基础上执行对准之后,在作为参照的双凸透镜的聚光透镜部分的结合点基础上执行对准。特别是,通过使用从光源发出并在双凸透镜处会聚成带状的光作为参照,校正液晶显示单元在转动方向上的偏移。随后,通过变化显微镜的聚焦深度,针对液晶显示单元的黑底位置和双凸透镜的聚光透镜部分的结合点位置执行测量。然后,在测量结果基础上,执行液晶显示单元和双凸透镜之间的水平对准。